ICP-MS分析技術在半導體高純材料分析中的應用

            關鍵詞: 半導體;高純材料; 質(zhì)譜；雜質(zhì)分析；美析儀器：antak.com.cn；ICP-MS6880

　　電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法是將電感耦等離子體(ICP)技術和質(zhì)譜(MS)技術結(jié)合起來， 利用等離子體作為離子源，由接口將等離子體中被 電離了的試樣離子引入質(zhì)譜儀，用質(zhì)譜儀對離子進行質(zhì)量分析(按m／Z比值將不同的離子分開)并檢測記錄，根據(jù)所得質(zhì)譜圖進行定性定量分析。
　　具有以下幾個優(yōu)點：
　　(1)靈敏度高：ICP-MS6880儀器的靈敏度一般高出lCP-AES一到兩個數(shù)量級，從而對多數(shù)元素能達 到更低的檢出限：
　　(2)動態(tài)線性范圍寬：
　　(3)可多元素同時分析；
　　(4)分析速度快，單個樣品一般在幾秒鐘內(nèi)完成：
　　(5)分析元素范圍廣，能分析元素周期表中除碳、氫、氧外的絕大多數(shù)元素． 正因為這些優(yōu)點，使ICP-MS6880分析技術廣泛應 用于半導體工業(yè)用高純材料的痕量雜質(zhì)分析中．
　　主要進行的高純材料分析
　　1. IC硅片表面雜質(zhì)分析
　　2. 光伏多晶硅、單晶硅雜質(zhì)分析
　　3. 三氯氫硅、四氯化硅： ICP．MS法測定高純四氯化硅中們、V、cr、‘ Co、Ni、Cu、Pb、Zn、Mn九種金屬元素．
　　4. 超凈贏純試劑分析：括氫氟酸、硝酸、硫酸、鹽酸、氨水、雙氧水等超純無機試劑，和異丙醇(IP：A)、丙酮、四甲基氫氧化銨(TMAH)，N．甲基丙絡烷酮 (NMP)、丙二醇甲基醚乙酯(PGMEA)等超純有機試劑
　　5. 超純水分析
　　6. 高純氣體分析